治理
设有监事会的公司。董事会由8名董事（其中4名为社外董事）组成，社外董事担任董事会主席。设有指名・报酬委员会（由社外董事担任主席），并自2022年9月起引入执行董事制度。当年度董事会共召开13次会议，全体董事均出席全部会议。
风险管理
2024年7月设立的风险・合规委员会（由风险管理・合规负责的执行董事担任委员长，全体执行董事及常任监事作为成员）每年召开两次以上会议，开展全公司范围的风险管理。可持续发展推进团队负责识别和评估风险与机会，重大风险经该委员会批准后向董事会报告，已建立相应的体制。
股东回报
以合并派息率35%为目标的与业绩挂钩型分红为基本方针，每年实施两次分红。2026年6月期为中期132日元・期末197日元（预定），全年合计329日元，与上一期持平。库存股回购方面，2025年8月决议的560,600股・12,001百万日元已于2025年12月完成收购。
分红政策
以合并派息率35%为目标，实施与业绩相应的弹性分红政策。基本上每年进行中期分红和期末分红两次，中期分红由董事会决议决定，期末分红由股东大会决议决定。2026年6月期预计中期132日元・期末197日元，全年合计329日元（与上一期实际的329日元持平）。
ESG
公司基于TCFD披露了1.5℃・4℃情景分析，并设定了到2030年将范围1+2排放量削减42%（较2024年6月期）的目标。2025年6月期实际削减率达到67.3%，提前达成目标。将EUV光罩检查装置等定位为绿色产品，计划在2024～2028年6月期的5年间合计投入500亿日元以上的研发投资（自2024年6月期起累计210亿日元）。在人力资本方面，提出女性管理者比例5%（2027年6月期目标）、新员工女性比例20%的目标，并实施弹性工作时间・居家办公制度及幸福度调查。
最近更新: 2025年9月25日