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半导体・FPD相关装置事业

面向半导体・FPD行业开发、制造、销售无尘搬送装置的核心事业

期间本期上期增减率
分部销售额(2027年2月期1Q)37,075百万日元32,950百万日元(2026年2月期1Q)
分部利润(2027年2月期1Q)10,834百万日元8,786百万日元(2026年2月期1Q)
分部销售额(2026年2月期全年)127,593百万日元123,442百万日元(2025年2月期全年)
分部利润(2026年2月期全年)32,003百万日元32,952百万日元(2025年2月期全年)
订单额(2027年2月期1Q)45,788百万日元24,076百万日元(2026年2月期1Q推算)
订单余额(2027年2月期1Q末)67,963百万日元55,336百万日元(2026年2月期末)
分部利润率(2027年2月期1Q)29.2%26.7%(2026年2月期1Q)

业务详情

面向半导体行业和FPD行业,开发、制造、销售适用于洁净室的无尘化搬送装置(EFEM・晶圆分类机(ウエハソータ)・N₂净化对应晶圆储存柜等)、真空用晶圆搬送装置、分析装置、大型玻璃基板搬送装置等。主要客户为Applied Materials, Inc.(2027年2月期1Q销售额8,130百万日元,占比21.9%)及TSMC(6,768百万日元,18.2%)。是占合并销售额约99%的核心业务板块。越南子公司为半导体相关装置的主力工厂,韩国子公司负责FPD相关装置。

近期概况

1Q订单额同比增长190.2%,实现快速扩张,订单余额也达到历史最高水平

2027年2月期第1季度(2026年3月〜5月),半导体・FPD相关装置事业订单额达到45,788百万日元(同比增长190.2%),实现快速扩张。其中半导体相关装置为42,030百万日元(同比增长188.4%),分析装置为2,366百万日元(同比增长396.3%),成为拉动增长的主要因素。订单余额达到67,963百万日元(同比增长127.9%),较2026年2月期末增加22,627百万日元。销售额为37,075百万日元(同比增长12.5%),分部利润为10,834百万日元(同比增长23.3%)。主要客户Applied Materials的销售额达8,130百万日元(占比21.9%),较上年同期的5,058百万日元(15.3%)大幅增长。美国方向销售额也达到11,062百万日元,较上年同期成为最大的地区市场。

主要产品

product
EFEM(大气用晶圆搬送装置)

在半导体制造工序中,用于从FOUP中取出晶圆并搬送至处理装置的大气用晶圆搬送装置。构成半导体相关装置的主力产品群。

product
晶圆分类机(ウエハソータ)

在半导体制造工序中实现晶圆分选及整列自动化的装置。属于半导体相关装置类别。

product
N₂净化对应晶圆储存柜

为防止氧化・污染,在氮气氛围下保管晶圆的装置。满足先进半导体制造中的品质管理需求。

product
全自动气相分解(VPD)装置(分析装置)

2027年2月期1Q分析装置订单额为2,366百万日元(同比增长396.3%),实现快速扩张。订单余额达4,672百万日元(同比增长134.1%),作为增长品类备受关注。

product
FPD相关装置(大型玻璃基板搬送装置・玻璃切割机)

2027年2月期1Q FPD相关装置销售额为2,032百万日元(同比增长202.9%),大幅增长。但订单余额仅为1,037百万日元(同比37.6%),仍处于较低水平。

成长驱动力

  • 以生成式AI普及扩大为背景,面向数据中心的先进逻辑・存储领域设备投资扩大
  • 面向Applied Materials的销售额快速扩大(2027年2月期1Q:8,130百万日元,同比增长60.7%)带动美国方向需求增加
  • 分析装置(VPD装置等)订单额快速增长(2027年2月期1Q订单额2,366百万日元,同比增长396.3%)
  • 台湾客户(TSMC等)需求持续(2027年2月期1Q销售额6,768百万日元)
  • FPD相关装置销售回升(2027年2月期1Q销售额2,032百万日元,同比增长202.9%)
  • 越南子公司(RORZE ROBOTECH CO., LTD.)新建工厂(预计2028年春季投产)带来产能增强
  • 零部件・维修等销售额增加(2027年2月期1Q:3,913百万日元,同比增长127.9%)带来售后市场收益扩大

风险

  • 与川崎重工业的美国专利诉讼(暂定损害赔偿4,800万美元的陪审团裁决,正在上诉程序中),在固定负债中计提诉讼损失准备金7,429百万日元
  • 美国半导体出口管制法规及中美贸易管制对中国方向销售的影响风险(2027年2月期1Q中国方向销售额9,234百万日元)
  • 商誉摊销负担(2027年2月期1Q:810百万日元)对利润的压制
  • FPD相关装置订单余额处于低水平(2027年2月期1Q末:1,037百万日元,同比37.6%),中期销售贡献存在不确定性
  • 越南子公司面临自然灾害风险(有台风受灾先例)及零部件采购环境恶化风险
  • 订单额快速扩大(同比增长190.2%)背景下产能能否跟进的风险

最近更新: 2026年5月22日